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Aerotech气浮平台ABL80001专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
Aerotech气浮平台ABL8000
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um
Aerotech气浮平台ABL8000
ABL80020 ABL80030 ABL80040 ABL80050 ABL80075 ABL80100
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