双物镜白光干涉仪
2023-10-08 10:19  点击:302
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SuperViewW1 双物镜白光干涉仪是一种用于材料科学领域的分析仪器,以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量。



双物镜白光干涉仪采用的光学非接触式测量方法,以及具有的测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,加上其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于测试直至100反射率的各类高反表面。


蓝宝石玻璃检测
  蓝宝石俗称刚玉,主要成分是氧化铝(Al₂O₃),由于其优良的物理和化学特性,常用于制成各种光学元件,如摄像头保护玻璃、表镜、窗口片、棱镜等。一般加工出来的蓝宝石玻璃分为单面抛光和双面抛光两种,抛光程度——也就是表面粗糙度直接决定了其表面质量等级,下图为一片单面抛光蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度检测图像及数据。


如上图所示,光面的粗糙度曲线显示,光面上分布的凸点只有1nm左右的高度起伏,其表面粗糙度为0.1nm左右,而糙面的高度起伏则达到了3.2um,表面粗糙度则为500nm左右。


玻璃屏检测
玻璃屏常见于我们日常所用的智能产品中,例如智能、智能手表,还有平板电脑等,为了获得更好的触屏体验,需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓进行检测。以玻璃屏为例,说明双物镜白光干涉仪在其中的应用:


如上图,选取的测量区域发现了一条宽6um,深6nm的肉眼无法观测到的划痕,玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。

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