高温真空蒸镀仪，是一款小型真空镀膜仪，特别适合蒸镀一些轻金属，如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理，Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽，可放置标准的载玻片，这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”，使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置，避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上，并且可安全地“关闭”直接通大气。高温真空蒸镀仪
优点
● 容易操作
● 均匀的样品涂层
● 方便多用户操作
● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 在排气过程中可防止样品损坏
● 碳棒或碳丝蒸发
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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加热方式 |
数字式功率调整器 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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最大功率 |
≤1200W |
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最大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
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真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
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蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
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支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |