水冷型溅射仪，KT-Z1650PVD，是一种紧凑型全自动溅射镀膜机，使用非常简单。由于独特的插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段，每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段，膜厚监测都作为标准。.
•高性能溅射、碳涂层和等离子处理
•获得的碳线轴–最多50个碳涂层，无需用户干预
•独特的即插即用溅射和碳涂层模块
•真空性能和快速泵送时间
水冷型溅射仪，技术参数；
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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溅射电源 |
直流溅射电源 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
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真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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溅射真空 |
≤30Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
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真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |