NMC-4000 MOVPE设备概述:
MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),完全的安全互锁。
目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000 MOVPE设备型号:
-
台式系统
-
5个带独立冷却槽的起泡器
-
加热的气体管路
-
950 °C样品台,2"晶圆片
-
3个气体环
-
RF等离子源,带淋浴头气体分布
-
工艺完成后N2自动冲洗
-
极限真空5x10-7Torr
-
250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
-
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
-
菜单驱动,4级密码访问控制
-
完整的安全联锁
NMC-4000 MOVPE设备配置:
-
独立系统
-
14"不锈钢立方体腔体
-
1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
-
加热的气体管路
-
RF等离子源,自动调谐
-
淋浴头气体分布
-
1100°C的旋转样品台
-
N2冲洗
-
手动或自动的晶圆片上下载
-
可以兼容到集群配置中
NMC-4000 MOVPE设备应用:
-
3到5族半导体层
-
蓝色发光二极管
-
激光二极管
-
紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
-
3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯