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椭圆偏振测厚仪仪器介绍:椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB2.0接口与电脑连接，软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。椭圆偏振测厚仪规格参数
测量范围 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量厚度最小示值（nm） ≤1
偏振器方位角范围 0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角 0.014°/步
测量膜厚（nm） ±1
折射率重复性精度 ±0.01
入射角调节范围 20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm） 632.8
光学中心高（mm） 80
允许样品尺寸（mm） φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm） 590*390*290
主机重量（kg） 25
椭圆偏振测厚仪配置表
基本配置 椭圆偏振测厚仪主机 1台
主机电控箱 1套
二氧化硅膜样片 1片
椭圆偏振测厚仪专用软件 1套
需另配 计算机及打印机 1套
椭圆偏振测厚仪