主要技术指标：
型号：3020-IMS
实际测量尺寸：300×200×180mm
测量精度：（2.5+L/200）μm
X，Y坐标解析度：1μm
外形尺寸：580×690×925mm
整机重量：235Kg

机械本体：
底座、立柱：济青花岗岩精度00级，物理稳定
导轨：FY-V型高平衡性滚子交叉导轨
光栅尺：新天精密闭合式光栅尺，分辨率1μm
Z轴驱动方式：手动对焦         

光学系统：
CCD：海康威视千兆网高速光纤数字相机（不需要搭载视频卡，更清晰）
镜头：普米斯可连续变倍高清镜头，光学放大倍率0.7×～4.5×
表面光源：美国进口灯珠，LED环形冷光源，光源稳定，使用寿命长
轮廓光源：美国进口灯珠，LED圆形冷光源，光源稳定，使用寿命长

软件系统：
多语言Hiresy智能自动测量系统
分辨率0.1μm三轴IMS300解析系统