滚筒式等离子清洗机，
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
滚筒式等离子清洗机KT-S2DQX-C
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
150W |
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射频频率 |
13.56MHz |
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频率偏移量 |
＜0.2MHz |
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特性阻抗 |
50欧姆，手动匹配 |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤50Pa |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体容积 |
Φ100mmX200mm |
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旋转速度 |
20转/分钟 |
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气体流量 |
0—300ml/min |
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过程控制 |
触摸屏自动控制+手动调节流量 |
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清洗时间 |
手0-999秒 |
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外形尺寸 |
615X390 |
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重量 |
56Kg |
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真空室温度 |
小于65°C |
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真空计量程 |
1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计) |
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标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 |