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zonglen半导体器件高低温测试设备chiller
半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。
zonglen半导体器件高低温测试设备chiller
应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
变频控制，智能PID控制预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制
zonglen半导体器件高低温测试设备chiller
温度范围：-20°C~+90°C
控温精度：±0.1℃
触摸屏操作，人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小