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高精度气体质量流量控制器LF-A010
采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。主板采用多层布线，具有更好的抗干扰能力，良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大，.大满量程可达30ln/min.耐腐蚀，耐高压至10MPa.5预热时间短，零漂小，可靠性高。±1.0%F.S的精度、精度高，线性度好
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高精度气体质量流量控制器
用于对30L内流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，数字电路，可靠性高，安装简单，操作方便。
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高精度气体质量流量控制器应用领域广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
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气体质量流量控制器LF-N产品参数
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产品型号
LF-A010
LF-A011
满量程范围
2SCCM-30SLM
量程比
控制器50:1
流量计100:1
精度
±1.0%F.S
线性
±0.5%F.S
重复性
±0.2%F.S
阀门类型
常闭阀
响应时间
≤1S~3S
工作压差
0.1...0.5Mpa
.大耐压
3MPa,可选10Mpa
工作环境温度
5...45℃
泄漏率
1×10-8Pa.m3/s
通信信号
0-5V
4-20mA供电方式
24VDC（250mA）
密封材料
丁晴橡胶 氟橡胶
接头尺寸
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
电器接头
DB9针