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用于高度校正的标准样品
外型尺寸：5*5mm
台阶高：20nm/100nm/500nm
几何结构：台阶高度有20nm/100nm/500nm（三种规格），1x1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞，500x500μm的正方上每5μm间距有圆形柱子和洞，还有X、Y方向的直线结构。