郑科探智能气体配比器:该气体配比器可以外接两种或多种气体，采用CS200或CS100质量流量计，气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏.
郑科探智能气体配比器可用于：
1. 半导体制造行业中气体流量控制
2. 各种真空镀膜设备；
3. 特种材料表面处理
4. 气体燃烧控制
5. 混合配气系统
6. 泄漏探测系统
7. 环境检测与分析设备
8. 分析仪器的气体流量计量与控制
9. 化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。
郑科探智能气体配比器的技术参数：
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气体通道 |
2进1出（KT-C2ZS） |
3进1出（KT-C3ZS） |
4进1出（KT-C4ZS） |
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可根据需求定制 |
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产品类型 |
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 |
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可选量程 |
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) |
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产品精度 |
高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S |
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重复精度 |
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S |
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线性 |
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. |
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响应时间 |
高精度型≤1sec 普通型≤2sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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最大功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
电磁阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸触摸屏智能调节 |
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时间设定 |
0-32000分钟 |
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清洗功能 |
一键清洗 |
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程序控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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压力显示 |
不锈铡机械压力表 |
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气体混合罐 |
有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） |
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流量累计 |
有（累计当前运行总流量） |
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可选进出气口接头形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
有 |
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外形尺寸 |
约500 |
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重量 |
18KG～20KG |
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